扫描电容显微镜纳米电成像技术可用吗数字和木星XR原子力显微镜,使用微波射频(RF)信号来绘制半导体和其他样品中的电荷载重者位置、掺杂剂水平和掺杂剂类型(p型vs. n型)。新设计的庇护研究SCM配件提供了比任何其他当前可用的SCM模块更高的性能和能力。福利包括:
不仅可以测量微分电容(dC/dV),还可以测量电容,电容与掺杂剂浓度线性相关,可以更简单地解释SCM数据
超过20倍的扫描速度提高了生产率(图像只需10秒!)
高灵敏度使测量半导体,能量存储设备和二维材料
更高分辨率的成像显示出更小的结构
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