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干涉式位移传感器（ID）

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的干涉式位移传感器（ID）选项为Cypher AFM直接测量悬臂偏转而不是悬臂角用于传统光束检测（OBD）。IDS由于静电耦合而消除了伪像，使得能够更可重复和准确的测量，特别是对于压电响应力显微镜（PFM）和D33测量。


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