扫描电容显微镜(SCM):辅助Cypher AFM

扫描电容显微镜是一种可用于Cypher和Jupiter XR原子力显微镜的纳米电成像技术，使用微波射频(RF)信号来绘制半导体和其他样品中的电荷载重者位置、掺杂剂水平和掺杂剂类型(p型vs. n型)。新设计的庇护研究SCM配件提供了比任何其他当前可用的SCM模块更高的性能和能力。福利包括:

• 不仅可以测量微分电容(dC/dV)，还可以测量电容，电容与掺杂剂浓度线性相关，可以更简单地解释SCM数据

• 超过20倍的扫描速度提高了生产率(图像只需10秒!)

• 高灵敏度使测量半导体，能量存储设备和二维材料

• 更高分辨率的成像显示出更小的结构

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