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干涉位移传感器

干涉式位移传感器选项为Cypher AFM直接测量悬臂偏转而不是悬臂用于常规光束检测(OBD)。IDS消除了由于静电耦合造成的干扰,使纳米力学的测量更具可重复性和准确性。


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