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快速力映射模式(FFM)

Celgard 3D原子力显微镜图像
木星XR显示一个200毫米晶圆被放置在样品卡盘上
数据表

快速力映射在木星XR AFM在高速(高达2500hz)下测量力距曲线，同时捕捉图像中的每一条曲线。实时和离线分析模型都可以用于计算模量、黏附和其他性能。

  • 力距离曲线映射模式，工作在高达2500hz z-rate

  • 捕获图像中的每一个力曲线，没有遗漏的曲线或隐藏的数据操作
  • 捕捉挠度和高度传感器数据，以精确测量两个轴
  • 实时和离线分析模型可用于计算模量、黏附等性能。用户完全可以访问模型进行验证和修改。
  • 适用于10kpa至100gpa的样品


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