扫描微波阻抗显微镜(sMIM)

SRAM样品的sMIM图像(20µm扫描尺寸，~400 nm高特征)。这些图像展示了sMIM可以测量的各种数据类型。

MFP-3D AFM

sMIM在金属、半导体和绝缘体上实现纳米级的介电常数和导电性映射(兼容所有MFP-3D AFMs, Origin除外)

提供更高的横向分辨率(<50 nm)和优越的信噪比(>10X)
与竞争技术相比，运行速度快80X，功耗低

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