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等离子体辅助蚀刻和沉积溶液,用于制造各种材料体系中的器件

功率半导体制造解决方案

随着对高效电力转换新技术需求的增加,如电动汽车具有高性能是必须的。使用碳化硅和氮化镓等材料可以降低能量损失。透过原子层沉积(“肾上腺脑白质退化症”)和等离子辅助蚀刻和沉积,我们能够优化工艺,提供最有效的设备。我们的“肾上腺脑白质退化症”工艺通过出色的钝化降低GaN/AlGaN器件的阈值电压漂移。

我们的蚀刻过程氮化镓而且原文如此生产优质的侧壁,以最小的损坏,确保最佳性能。

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半导体激光制造解决方案

随着对高效电力转换新技术需求的增加,如电动汽车具有高性能是必须的。使用碳化硅和氮化镓等材料可以降低能量损失。透过原子层沉积(“肾上腺脑白质退化症”)和等离子辅助蚀刻和沉积,我们能够优化工艺,提供最有效的设备。我们的“肾上腺脑白质退化症”工艺通过出色的钝化降低GaN/AlGaN器件的阈值电压漂移。

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激光有大量的应用,从更快的通信到通过激光雷达实现自动驾驶bob综合app官网登录汽车。bob平台下载手机版牛津仪器长期以来一直在开发激光二极管所需的III-V材料的工艺。无论什么材料,最终的过程控制是至关重要的,我们有从AlGaN到InP的过程。

激光应用的工艺解决方案bob综合app官网登录

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用于半导体和微电子研究的AFM 纳米级电特性的AFM工具 电力设备等离子体工艺解决方案 射频器件等离子体工艺解决方案 HBLED应用的等离子体工艺解决方案bob综合app官网登录 激光应用等离子体工艺解决方案bob综合app官网登录 红外传感器应用的等离子体工艺解决方案bob综合app官网登录 二维材料等离子体加工解决方案 用于MEMS和传感器应用的等离子体工艺解决方案bob综合app官网登录 元素和结构特征 元素和结构特征

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