量子
量子材料

量子材料的进展对于解开量子器件性能的下一个飞跃至关重要。bob平台下载手机版牛津仪器为新材料和器件的制造和表征提供世界领先的解决方案。我们开发的解决方案满足了原子纯度、化学计量精度、表面和界面光滑度以及伪两能级体系最小化的总体要求。芯片封装和键合是系统集成的一个关键方面,由于所使用的信号的高带宽,以及需要在不损失相位相干的情况下将信号在芯片上和芯片外传递到超导器件和从超导器件传递。

有几种方法和材料平台可以实现高度可扩展的量子电路。超导量子电路和捕获离子方法是两个在现实世界中应用的领先技术。bob综合app官网登录然而,在扩展捕获离子或超导量子计算机方面存在一些技术挑战,这导致了探索多种其他方法来创建量子位,如使用集成光子方法的光子量子计算、高温量子位如金刚石NV中心、基于半导体的自旋量子位、外来拓扑保护量子位或利用所有这些元素的混合方法。这些技术在技术准备程度上略低,但每天都在快速发展,有新的和改进的发展。

量子器件材料加工“,

候选器件已经开发使用超导、半导体和宽带隙材料。从长期来看,有用的器件很可能是需要复杂制造的混合结构。bob平台下载手机版牛津仪器为跨不同平台的关键量子器件组件的制造提供最先进的工艺解决方案:

  • 原子层沉积(ALD)
    • 用于量子比特、量子电路、微波谐振器和单光子探测器的超导材料,如NbN和TiN等
    • 介质(如铝)2O3., AlN和TaN)用于Josephson结的隧道屏障
    • 艾尔2O3.作为制造金刚石光学元件(微腔、纳米光束、波导等)的钝化层
  • 超导金属蚀刻,如Nb, Ta, Al, TiN
  • PECVD和ICP CVD
    • 低氢含量的SiNx用于低损耗波导
    • SiNx用作金刚石结构的硬掩模
  • 通过博世或低温蚀刻SiNx, InP和GaAs对光量子技术中的集成光子组件进行平滑侧壁蚀刻
  • 反应离子蚀刻(RIE)用于光滑,低损伤的金刚石薄化与O终止进一步保护NV中心。
  • TSV的深度Si蚀刻技术,实现量子电路的三维集成

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它还将解决分析相关显微镜研究的两个主要挑战:使用不同类型的显微镜从样品的同一区域获得数据,并将收集到的数据进行关联。

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