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薄膜光伏器件的制造和常规光伏器件的改进
光伏(PV)、热电(TE)及其相关材料和器件正在迅速发展，并向光伏聚合物、传统半导体光伏器件和钙钛矿光伏材料等多个领域发展。bob平台下载手机版牛津仪器等离子技术公司已经开发了许多生产薄膜半导体光电的工艺。
太阳能电池设备制造
我们的沉积和蚀刻工具通过钝化界面缺陷，减少载流子的复合，使太阳能电池效率更高，通过沉积抗反射涂层和表面纹理改善了光在电池中的捕获，通过沉积优化的透明导电氧化物和控制边缘隔离蚀刻改善了载流子提取。我们的工具和工艺也可以在低温下沉积硅薄膜太阳能电池。我们的x射线源用于在线工具，可以验证关键层的厚度和组成，以及先进高效太阳能电池生产中的电气互连。
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