AFM探针是一个尖锐的尖端,放置在悬臂的自由端,附着在探针支架上。典型的尺寸在微米尺度上,尖端半径为几纳米到几十纳米。
悬臂连接到毫米级的矩形芯片上,用户可以抓住探针并将其放在探针支架上,这样就可以在原子力显微镜上使用。AFM尖端技术使用的是半导体行业首创的工艺。今天被称为MEMS技术,大多数探针是由硅和氮化硅制成的。
悬臂末端的尖端可以是不同长度的,锋利的或钝的,并被涂上不同的材料,以实现不同的扫描性能,包括更长的磨损,材料粘接和磁性。
除了尖端上的不同涂层,悬臂梁也被设计成不同的规格,以便更好地与扫描样品和AFM模式进行交互作用。例如,不同的频率可以使扫描更快或更慢,弹簧常数可以使与样品表面的相互作用更软或更硬。随着时间的推移,探测器被认为是消耗品。