牛津仪器等离子体技术应用工程师舒毅博士将与我们的应用团队合作,提出一套ALD在单个腔室中单次运行沉积高质量氮化物和氧化物堆栈的策略。bob平台下载手机版
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位置
虚拟
日期
2021年6月的观众
业务
等离子体技术