Ultim Max和AZtecTEM: EDS分析

极端的电子产品

这些电子器件被开发用于扫描电镜中的EDS检测锂。极端电子提供最低的噪音和处理可用于SDD。它们确保在所有计数率下实现出色的能量分辨率和频谱质量。在瞬变电磁法中很难达到很高的计数率。然而，极端电子器件在更快的处理时间(PT)下实现的改进分辨率使您可以更有效地使用生成的计数，并在一半的时间内实现相同的结果。

卓越的低能耗性能

立体角和起飞角的增加，加上无窗探测和极端电子技术，使得x射线灵敏度无可妥协。这意味着Ultim Max现在可以探测到比以前更低能量的x射线，同时对传统的低能x射线(如氧和氮)保持特殊的灵敏度。

在200kV下采集的AlF能谱显示Al Ll72eV的x射线线。

Ultim Max是标准的无窗。无窗EDS探测器的灵敏度比传统的有窗EDS探测器高8倍。对于更高能量的x射线，常规SDD被窗口支撑遮挡高达40%，而低于1kev的x射线可以被窗口材料本身吸收。

对于选定的x射线线，无窗探测器相对于传统薄窗探测器灵敏度的改进

鲁棒漂移校正

在高倍倍率下，无论显微镜工作台多么稳定，都需要进行漂移校正，以确保您连续绘制标本的相同区域。AutoLock是我们稳健的漂移校正算法，允许在用户定义的间隔内自动漂移校正。自动锁定现在支持逐帧漂移校正。使用与x射线地图的每一帧同时收集的电子图像，AutoLock可以连续校正样品漂移。使用x射线收集的图像可确保持续反馈，以便用户可以手动调整标本z方向上的任何观察到的漂移。不停止x射线图来收集漂移校正图像会使样品接收到的电子剂量最小化。这确保了即使是最敏感的光束标本的光谱图像现在也可以实现。

优化立体角度

立体角对于TEM EDS应用非常重要，以确保您可以收集尽可能多的计数。bob综合app官网登录在TEM EDS术语中，立体角(Ω)被定义为SDD传感器的有源区域所覆盖的x射线产生点的视场面积。

最简单的定义是:

(Ω) (sr) = A/d²

在哪里一个SDD传感器的有源区域和d是从x射线产生点到它所在位置的距离。

对于Ultim Max，我们优化了80毫米的大尺寸设计²和100毫米²活动区域sdd。这使得传感器能够尽可能接近试样中x射线产生的点。这最大化一个和最小化d当使用上述公式计算时，为单个探测器提供高达1.1 sr的大立体角。

提高定量精度

新的质量厚度定量(M²T)减少不同厚度样品的定量不准确性。透射电镜样品的厚度很少是均匀的，尤其重要的是，它们几乎肯定不是无限薄的。这意味着使用著名的Cliff-Lorimer公式进行量化可能会变得不准确，特别是如果你的样本包含了大范围能量的x射线线。这可以用厚度和密度来校正，但这些很难测量。

只需对牛津仪器公司提供的样品进行一次测量，就可以校准TEM光束电流和有效探测器实心角，从而可以根据质bob平台下载手机版量厚度(ρt)进行量化。然后，AZtec自动应用适当的吸收校正，以提高定量的准确性。

活体化学成像

AZteclive，在SEM上进行EDS的革命性技术现在正在走向TEM。结合实时电子图像、实时EDS地图和不断更新的x射线谱，AZtecLive提供了样品元素组成和形态的实时反馈。在透射电镜中，你不太可能实现计数率，使你可以在浏览标本时对其进行基本成像。然而，放慢帧时间到每2或3秒一次，你现在可以看到标本元素组成的变化现场实验。

AZtecLive作为Au薄膜的屏幕截图从720°C加热到800°C，以观察元素和形态变化(序列加快20倍)。

增加起飞角度

在TEM中，与实心角度一样重要的是，确保探测器的实心角度可用也是很重要的。由于没有TEM样品或支架是完全二维的，SDD探测器在低样品倾斜时可能会产生阴影，从而降低有效实心角。我们设计的EDS探测器最大限度地提高起飞角度。由于立体角优化，Ultim Max和Xplore的取角比等效的X-Max探测器大。这意味着在低倾斜时传感器的阴影更少，因此有效实心角更大。这样做的结果是在较低倾斜时计数更多，这对于需要特定或低倾斜的样品，如半导体器件，是极其重要的。

优化的原位

观察反应发生的过程现在是许多TEM实验的关键部分。在这些实验中收集元素信息以前是很困难的，因为EDS探测器很容易被笨重的探测器遮蔽原位支架和x射线信号可能会被红外和加热器元件的可见辐射淹没。改进的Ultim Max和Xplore的起飞角度减少了SDD的阴影，以收集更多的x射线，并允许在气体或液体细胞中绘制样品。与此同时，极端电子器件使探测器能够在更高的样品温度下继续收集x射线。

对10nm Au薄膜在室温下进行EDS谱分析样品的温度900°C使用Ultim Max TEM。

测量试样厚度

米²T量化给出质量厚度(ρt)的结果，换句话说，是样品密度和厚度的乘积。AZtecTEM允许用户输入给定样品的密度，通过这样做，用户将自动显示每个光谱的样品厚度测量结果，而不需要EELS(电子能量损失谱学)或复杂的衍射技术。测量局部密度是困难的，它可能不均匀，但对于许多样品，平均密度可以估计出组成元素和一个非常合理的估计样品厚度计算。这使得用户能够更多地了解他们的样品，特别是在测量参数时，如缺陷密度，现在可以作为体积的函数来测量，而不仅仅是面积。

2D HAADF图像的3D表示以及使用EDS测量样本厚度的相关测量