阿兹特克LayerProbe

LayerProbe是一款激动人心的扫描电镜薄膜分析软件工具。作为AZtec EDS微分析系统的一个选项，LayerProbe比专用的薄膜测量工具更快、更经济、分辨率更高。

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SEM中的薄膜分析
特征是试件表面下的多层
非破坏性分析
2 ~ 2000 nm多层膜的厚度和组成
横向分辨率降低到200纳米
易于设置的常规用户，和成本有效的扩展您的SEM或FIB-SEM
AZtecLive的扩展:无缝集成，易于改造到现有的安装

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概述

层探头分析样品的表层和次表层的成分和厚度。这是一种基于已建立的微分析技术的非破坏性工具，它比专用的薄膜测量工具更经济、更高的分辨率和更精确。

LayerProbe通过计算表面下各层的成分和厚度，补充了传统EDS分析获得的元素和相信息。

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layerprobe.

这本8页的小册子展示了LayerProbe的特性、优点和工作原理，以及它应用的许多应用。bob综合app官网登录

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使用LayerProbe进行高质量的TEM片层制备和尖端分析

本文介绍了一种能够测量TEM片层局部厚度和成分的新技术，并讨论了其在半导体器件失效分析中的应用。

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分析柔性电子元件

安装在塑料基板上的电子线路的研究和开发正在加快步伐。

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利用AZtec LayerProbe对全氧化物太阳能电池进行表征

光伏电池是一种有吸引力的低碳可再生能源的选择，但传统的设计往往包括不受欢迎的有毒化合物，必须在特殊条件下制造。

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LayerProbe是理想的广泛应用，包括后端和前端芯片制造，半导体研发，光学和bob综合app官网登录工业涂层，纳米电子器件…

半导体的研发

测量金属层和介质层的厚度和成分
准确描述键合焊盘上氧化物的形成(例如铜上的氧化铜)
优化薄膜沉积工艺(CVD, ALD，溅射，蒸发)

太阳能电池

描述薄膜太阳能电池(CIGS, CdTe)的有源层
优化TCO层厚度和均匀性
描述抗反射涂层的厚度和组成

光学涂层

通过准确测定薄膜的厚度和成分，优化光学涂层的颜色和透明度
成分测量揭示了在常规厚度测量中看不到的不均匀性

工业涂料

适用于装饰和结构涂料
用最小的样品制备方法发现并准确表征亚表面缺陷

纳米科学

纳米粒子涂层均匀性的测量
描述纳米器件的接触特性
使用无损层测量将器件性能和结构联系起来

LayerProbe提供了一种新的方法来量化TEM薄片的厚度和质量，同时也为fib - sem上的层状样品的横截面分析提供了一种补充技术。

LayerProbe只需要几秒钟的时间就可以确定薄片的厚度，并检测和测量任何被植入的镓
其精确的厚度测量可以更快地制备高质量的超薄薄片
子表面缺陷被精确地识别与FIB-SEM切割的位置
利用气体辅助沉积和蚀刻技术，LayerProbe还可以表征和优化在FIB中沉积或处理的层的质量

LayerProbe基于成熟的技术，与其他技术相比具有显著的优势

LayerProbe与其他技术的比较

	layerprobe.	椭圆光度法	心房纤颤/ TEM	苏格兰皇家银行
非破坏性	是的	是的	没有	是的
高空间分辨率	是的	没有(> > 1微米)	是的	是的
快速分析	是(每分需要几秒)	是的	没有(几小时)	没有
成本	相对便宜的	昂贵的	非常昂贵的	非常昂贵

LayerProbe有多精确?

硅衬底上ALD层的比较

	LayerProbe厚度(nm)	密度(gcm^－3）	椭圆对称厚度(nm)	折射率
高频振荡器₂	28.1±0.1	9.4	33.6±5	2.04
艾尔₂O_3.	57.0±0.2	3．0	52.8±5	1.64

层探针EDS和RBSD成分测量

	层探针-化学计量比	RBS -化学计量比
高频/ O	2．13	2．07
Al / O	1.56	1．60

示例:PCB应用- Au在Ni上，Si衬底上

层探头和XRF厚度测量

	LayerProbe厚度(nm)	密度(gcm^－3）	光谱仪厚度(nm)
非盟	60.1±0.7	19．3	61±25
倪	123.5±0.7	8．9	141±24

SEM截面测量证实了结果…

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