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OmniProbe 200

业界领先的用于FIB和SEM仪器的PORT MOUNTED纳米机械手包括这个集成100nm闭环编码器反馈控制的模型,其精度、灵活性和易用性。

  • 闭环系统
  • 专利解决方案


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业界领先的用于FIB和SEM仪器的PORT MOUNTED纳米机械手包括这个集成100nm闭环编码器反馈控制的模型,其精度、灵活性和易用性。操作与闭环系统完全独立于显微镜的舞台定位,使样品操作有额外的自由度。专利解决方案利用定制的组合工作台和探针(CSP)配方,实现快速样品重新定位到特定角度。

特性和好处
  • 包括8代创新的先进技术
  • 支持从纳米线操作到TEM样品制bob综合app官网登录备到电气和机械测量的各种应用
  • 向任意方向对角线移动(全向)
  • 任意样品倾斜垂直导航
  • 快速定位样品到特定的角度
  • 在长距离进行平稳和精确的操作
  • 始终要知道探针尖端在哪里,即使在视野之外
  • 可预测地移动所有港口安装
  • 减少操作人员的疲劳,提高成功率,易于召回存储位置
  • 避免碰撞
  • 气动插入/收回链接到显微镜软件(依赖OEM)
  • 内置的能力,适用于针的偏压范围为+/- 10 V,用于电压对比或其他应用。bob综合app官网登录

可选的同心旋转

具有0.1度分辨率的同心校正旋转,使样品在旋转过程中能够在相当于60um水平视场的放大倍数下成像。

  • 样品旋转是安全完成的,没有碰撞的风险,也不需要在每次旋转后重新定位样品或探针尖端。
  • 在FIB中,旋转提供了一种快速和容易的尖端锐化手段,以改善电特性或与低于20nm的样品特征相互作用。

自动化系统
  • 电脑及平板显示器
  • 2U机架式以太网控制器
  • 带有100nm线性编码器反馈的3轴工作台
  • 运动控制软件接口
  • 用户手册和安装指南

请查看下面的比较表,以帮助您为应用程序选择最佳的OmniProbe并比较规范。

规范 OMNIPROBE
低温 OmniProbe 350 OmniProbe 400
线性 500海里 500海里 250海里
编码器的分辨率 100海里 < 50纳米 10纳米
插入可重复性 5μm 5μm 2μm
最小速度 100海里/秒 50 nm /秒 10 nm /秒
最大速度 250μm / s 250μm / s 500μm / s
Compucentric旋转
应用程序
网站具体提升式
建立过程 P P
发泄免费建立过程
背面稀疏 P
原子探针层析成像样品制备 P P
低温liftout
电压对比成像 ✔*
电荷中和
剑尖分析
EBIC测量 O O
EBAC测量 O O
原位提示改变 O

P:需要一个OmniPivot支架O:可选*在冷冻连接时不可能

选项

可选的同心旋转

  • 具有0.1度分辨率的同心校正旋转,使样品在旋转过程中能够在相当于60um水平视场的放大倍数下成像。
  • 样品旋转是安全完成的,没有碰撞的风险,也不需要在每次旋转后重新定位样品或探针尖端。
  • 在FIB中,旋转提供了一种快速和容易的尖端锐化手段,以改善电特性或与低于20nm的样品特征相互作用。

自动化系统

  • 电脑及平板显示器
  • 2U机架式以太网控制器
  • 带有100nm线性编码器反馈的3轴工作台
  • 运动控制软件接口
  • 用户手册和安装指南

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