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2013年6月11日

发射革命性气体喷射系统:Omnigis II

SEM和FIB的Omnigis II多气输送系统

bob平台下载手机版牛津仪器是纳米流动和纳米制造工具的领先供应商,已发布Omnigis II,这是一种革命性的单端口,多气注射系统。它使用户能够以前所未有的精度,速度和可用性在SEM或FIB中构造纳米结构。

气体注入系统(GIS)直接在样品上引入了控制气体。与显微镜电子或离子束相互作用会导致固体结构的材料蚀刻或沉积,具体取决于气体化学。bob综合app官网登录应用程序从样本制备和纳米层到通过直接写光刻创建纳米结构,从而实现无掩模的纳米图案。

Omnigis II是牛津仪器的第二代系统,具有独特的功能,可以使该行业从未见过的控制和准确bob平台下载手机版性。无排气的自动ID墨盒可促进快速简便的源更换,可提供可扩展的源容量,最多三个前体和两种气体同时连接。“流动性”载体方法可促进有效的化学输送和快速处理,而压力反馈控制则可以自动调整到各种腔室压力下,以在高压或高压下高分辨率的纳米平板在低压下进行快速处理。

牛津仪器纳米分析市场总监Del Redfern表示:“自收购全尼帕菜以bob平台下载手机版来,已经引入了新的和创新的旗舰产品,这些产品已引入了纳米制造市场。”