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bob平台下载手机版牛津仪器庇护研究发布
新的应用说明介绍扫描电容显微镜(SCM)

2020年6月3日(加利福尼亚州圣巴巴拉)。bob平台下载手机版牛津仪器研究所很高兴地提出了一个新的应用笔记扫描电容显微镜(SCM)技术和单片机的应用。bob综合app官网登录从半导体器件和其他先进材料的例子证明了独特的能力;与旧的SCM电路设计相比，提高了灵敏度、更快的扫描速度、更高的分辨率和直接测量电容的Asylum SCM模块。对于那些不熟悉SCM技术的人以及那些目前使用SCM但不知道该技术的最新进展的人来说，应用说明是理想的。

“我们新的应用笔记展示了我们最近发布的扫描电容显微镜附件的一些独特功能。”牛津仪器庇护研究所产品总监Dominic Paszkeicz评论道，bob平台下载手机版“结果显示，标准掺杂剂阶梯样品上的SCM电容数据呈线性相关，这对那些努力解释早期SCM模块产生的差分电容(dC/dV)数据的人来说尤其有意义。”

虽然最常用于调查半导体器件的过程或故障分析，新的更高的灵敏度的庇护SCM模块，使它可以用于更广泛的材料，包括那些不形成天然氧化层。应用笔记中列举了一些这样的例子，包括二维材料、量子点和储能材料的研究。

有关更多信息，请参阅https://afm.oxinst.com/outreach/scanning-capacitance-microscopy-scm-application-note

图像说明:庇护SCM模块可以用于传统的半导体材料以及其他先进的材料，SCM传统上没有被使用。(Top)直接测量电容的独特能力允许信号与掺杂剂浓度线性相关，不像传统SCM模块的dC/dV数据。(下)这种电池电极材料以前不会被认为是SCM成像的一个很好的候选材料，但是Asylum SCM模块的高灵敏度显示了右侧电容通道的对比，超出了左边的地形图像所能观察到的。