2021年2月23日

bob平台下载手机版牛津仪器等离子体技术通过欧洲石墨烯旗舰项目资助的试点生产线帮助推动了2D设备的商业化。

bob平台下载手机版牛津仪器等离子技术(Oxford Instruments Plasma Technology)是一家用于大批量生产和研发的等离子处理解决方案的领先供应商，该公司很高兴地宣布其参与了欧洲石墨烯旗舰项目资助的“2D实验试点生产线”。

欧洲领先的半导体铸造厂和研究机构正在共同努力，创建世界上第一条生产线，将二维(2D)材料增强的半导体技术从实验室带到商业设备。

bob平台下载手机版牛津仪器公司很荣幸成为这次跨欧洲合作中唯一的原子层沉积(ALD)硬件和工艺解决方案合作伙伴，继续其与创新的全球合作伙伴合作的战略，将领先的研究转化为制造环境，推动器件性能的改善。该项目由欧盟委员会资助，将在4年内投资2000万欧元。该项目将于2020年10月1日启动，为基于2D材料的电子、光子学和传感器的原型生产建立一个欧洲生态系统。

二维材料已被证明在传感器和光子学等广泛应用中具有优越的器件性能。bob综合app官网登录将这些器件推向市场的下一步是开发全晶圆的加工流程。bob平台下载手机版牛津仪器的理想定位是帮助将该技术提升到下一个水平，为200毫米晶圆上的单晶圆等离子体处理解决方案提供了清晰的路线图。

bob平台下载手机版牛津仪器公司已经成功安装了Atomfab亚琛AMO远程等离子ALD系统，以支持在200毫米晶圆上制造这些设备。创新的等离子ALD系统已经证明，能够在2D材料上沉积高质量的高k材料，而不会造成层损伤。Atomfab是专门为大批量生产而设计的，具有市场领先的吞吐量和拥有成本，可在单个晶圆加工平台上提供远程等离子ALD，处理直径达200毫米的晶圆。

“新ALD的工具将帮助AMO和2D实验试验线(2D- epl)将2D材料的研究提升到更高的制造准备水平。”AMO主任Max Lemme教授说。“我们谈论的不仅仅是另一种工具，而是AMO和牛津仪器之间的战略合作伙伴关系，牛津仪器的一名专门科学家嵌入在AMO，以加强对2D材料的研究和开发。bob平台下载手机版AMO的使命是通过与工业伙伴的联合研发项目来寻求技术转移，这种紧密的合作是一个很好的例子。”

牛津仪器等离子技术战略业务发展总监Klaas Wisniewski评论道:“下一代材料设备的设备需求已经达到了一个新的水平bob平台下载手机版。我们所需要的是高性能且同时具有成本效益的解决方案——这些标准并不总是容易调和的，因此只能通过卓越的工艺技术来实现。因此，我们非常高兴地看到，这条与世界领先的设备制造商连接的开拓性试验线将充分利用我们先进的Atomfab ALD技术。通过与这样的世界领先的联盟合作，我们继续建立我们的战略，使高性能设备的制造通过投资有前景的技术，如二维材料今天。”

imec探索性材料和模块集成项目经理、2D-EPL项目技术负责人Cedric Huyghebaert说:”在过去的十年中,研究发现一些独特的二维材料的属性显示潜力解决一些关键性能瓶颈为未来的电子和光子设备和传感器”,“虽然有很多示威实验室类型的原型设备展示表演之外的最先进的,为了将这些设备推向市场，我们需要开发用于制造符合半导体行业标准的2D材料的工具包和bkm。Imec正在领导2D实验性试点生产线的工作，以建立一个工业生态系统，以提高技术准备二维材料我们期待着与牛津仪器以及该联盟中的其他工具和材料供应商合作。”bob平台下载手机版

bob平台下载手机版牛津仪器继续开发和支持市场领先的原子尺度制造解决方案，对制造至关重要二维材料启用设备。

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