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2013年1月11日

bob平台下载手机版牛津仪器推出LayerProbe -在扫描电子显微镜上无损测量层厚度

在扫描电镜上无损测量层厚度

bob平台下载手机版牛津仪器纳米分析公司(Oxford Instruments NanoAnalysis)是微分析软件和系统的世界领导者,该公司宣布推出LayerProbeTM,这是一款令人兴奋的新软件工具,用于表征基材上的薄层。作为牛津仪器的AZtec®EDS微分bob平台下载手机版析系统的一个选项,LayerProbe比专用的薄膜测量工具更快,更划算,分辨率更高。

层探针分析的组成和厚度的表面和亚表层样品仅通过x射线微观分析的表面。与传统的基于样品横截面的sem薄膜测量不同,LayerProbe分析是无损的。只有200纳米宽的特征和2纳米到2000纳米厚的层可以在几秒内被描述出来。LayerProbe是AZtec®微分析系统的扩展,可适用于大多数sem和fib。

根据纳米分析解决方案业务经理Christian Lang博士的说法,“LayerProbe将SEM变成了一种高性能的薄膜和涂层分析仪。类似的非破坏性技术需要对专用设备进行大量额外投资”。bob综合app官网登录应用领域包括测量半导体中金属化层和介质层的厚度和组成,表征薄膜太阳能电池中的有源层,工业涂层分析和一系列纳米科学研究领域,如石墨烯。

bob平台下载手机版牛津仪器纳米分析董事总经理伊恩·巴克夏博士表示:“作为一家企业,牛津仪器的目标是利用创新将智能科学转化为令客户满意的世界级产品。LayerProbe是我们这样做的另一个例子”。