8月12日

路易斯维尔大学选择牛津仪器等离子技术的深硅蚀刻解决方案，用于领先的bob平台下载手机版Edge Research

bob平台下载手机版牛津仪器等离子技术，素质蚀刻和沉积解决方案的领先供应商对复合半导体行业，很高兴地宣布它已经收到了一个订单Plasmapro 100 Estrelas.来自Micro / Nano Technology Center（MNTC）的等离子体蚀刻系统在J.B。洛根大学速度工程学院。

由路易斯维尔大学购买的系统将被添加到大学的制造设备套件中，在大学的30亿美元10,000英尺²洁净室，这是着名的NSF国家纳米技术网络的一部分。

这Plasmapro 100 Estrelas.平台旨在支持研究，开发和培训。它提供了完全的灵活性深硅蚀刻（DSIE）或深反应离子蚀刻（DRIE）bob综合app官网登录在同一平台上执行博世，Cryo DSIE和深氧化物/氮化物/氮化物蚀刻的应用具有独特能力，而无需硬件变化。灵活性为此提供了各种过程要求微机电系统（MEMS），先进的包装和纳米技术市场。

博世DSIE使用高密度等离子体源和快速气体切换能力，以实现轮廓垂直度和高蚀刻速率，具有优异的掩蔽材料的选择性。Cryo DSIE使用超低温度，因此产生具有光滑侧壁的功能。

MNTC经理Julia Aeberbersold表示，“我们很高兴与牛津的Estrelas DSIE系统显着升级我们当前的Drie功能。新系统将允许我们的客户实现侧壁平滑度和SOI蚀刻终端所需的关键设计参数，用于微流体，机器人和气体诊断传感器，我们以前无法实现。“

“bob平台下载手机版牛津工具已经与路易斯维尔大学享有成功的合作关系，我们致力于继续展示我们的晶圆加工技术领先地位，基于三十多年的经验和创新。路易斯维尔大学拥有牛津仪器的其他晶圆加工解决方案，牛津仪器安装在他们的设施，我们很高兴再次选择，以提供适用于他们的研究和教育培训的最佳制作工具bob平台下载手机版。“牛津副总裁Emiel Thijssen说，VP销售和业务发展说仪器等离子体技术，美洲。

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