MEMS正在启用新一代探测器，允许有效测量，例如运动感应和医学诊断

微型/纳米电动机械系统（M/NEM）和传感器已经建立了很好的建立，其中多种设备用于消费者和商业产品。这包括智能手机，汽车，游戏机，导航辅助工具，无人机和生物医学设备。随着物联网（物联网）的当前功能的成熟，这将增加。

MEMS技术

随着对节能，较小且具有成本效益的设备的需求增加，必须全面选择制造要求。bob平台下载手机版牛津仪器提供了独特的灵活设备和过程解决方案，以应对这些挑战，其中包括深硅蚀刻，，，，ICP，，，，PECVD，，，，阿尔德，，，，纳米级生长和离子束蚀刻和沉积。

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