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生产过程系统为HBLED制造商提供卓越的单晶圆和批晶圆能力

bob平台下载手机版牛津仪器为高亮度LED生产提供了独特的工艺解决方案,确保在生产过程的关键环节实现最高的产量。我们为HBLED制造商提供等离子蚀刻和PECVD工具超过17年,我们知道如何为您的公司提供所需的拥有成本和器件性能。

我们的解决方案

bob平台下载手机版牛津仪器公司拥有广泛的适用于LED设备的加工设备。

  • PECVD钝化可以达到最佳的器件性能的击穿电压
  • 氮化镓腐蚀用于led或激光器。氮化镓腐蚀保持表面质量和低损伤
  • 高刻蚀率,适合于耐刻蚀材料
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