我们学会了ALD 2017

会议在丹佛,美国是最大的,这个系列中,约有900注册。等离子体技术提出和合著的几个原子层刻蚀和沉积海报。肾上腺白质退化症患者销售危害努普博士,我们的技术专家在你埃因霍温,计划委员会——几个演讲是由这个群体。

ALE(原子层蚀刻)海报会议周六很强烈!啤酒GaN和沃甘吸引游客不断,直到员工开始关灯和饮料被除掉。等离子体技术和劳伦斯伯克利实验室之间的合作产生了一个有趣的研究二氧化硅的啤酒,在平行板中使用射频频率的组合配置。我们非常自豪,一块工作会同IMEC硅原子层蚀刻,停止在单层二硫化钼、赢得了最佳海报奖。做得好,马库斯Heyne(如下图所示)!查看海报。

理查德Gottscho给一个优秀的全体讨论原子层蚀刻。衬底温度控制是强调的重要性,以及预期的控制化学剂和离子轰击。绑定的化学物种表面活化能较低,足够低,热能足以改变表面剂量。等离子体技术啤酒设备的温度控制范围宽,尤其是低温能力,给啤酒过程开发一个额外的角。

在沉积方面,选择性原子层沉积(ALD)与空间ALD S-ALD缩略词的使用。选择性退化是一个强大的学术研究的焦点,而空间ALD正朝着提高沉积速度ALD的首选方法。这可能加剧ALD接的应用,特别是锂离子电池的应用成熟。bob综合app官网登录ALD艾尔₂O₃提高电池的性能,如果渗入外套碳酸锂颗粒。

会议移到韩国在2018年看这个空间!