ALD /啤酒2018即将到来

这个周末的ALD /啤酒会议在韩国开始,一如既往我期待着会议。每年“肾上腺脑白质退化症”的会议对我来说已经成为一种传统,因为这是新闻ALD /啤酒发展的主要阶段和见解如何存款和删除材料原子尺度精度。此外,这是一个好地方来满足来自世界各地的同事和朋友。我从我的兴奋bob平台下载手机版牛津仪器等离子技术(OIPT)作用,因为有趣的新发展和应用程序正在进行的和许多漂亮的人使用我们的系统的方法。bob综合app官网登录而且从我的兼职我很兴奋埃因霍温理工大学(图/ e)角色自伟大的科学预计和伟大的讨论,不仅“肾上腺脑白质退化症”但也为啤酒和组合。在这个博客我将展望未来的谈判我期望和可能的趋势。我有拒绝的冲动和非常科学的解决这些完成。

很难判断哪些最关注的应用程序。bob综合app官网登录我认为这是很常见的一个方面为许多高端应用程序是控制沉积高质量材料的重点是控制接口和缺陷。bob综合app官网登录在这方面,电力电子是一个很好的例子,退化和啤酒都有巨大的潜力在改善可靠性和提高设备性能。一般来说,通过结合ALD和啤酒社区的许多有趣的选项是在桌子上。热啤酒是一个突出的例子,和离子能量控制是比较常见的等离子体蚀刻在血浆ALD探索。清洁,平和和其他方法相结合的退化和啤酒都是礼物。

这样的组合带给我的话题原子尺度处理(ASP),我预计将更加突出与沉积和蚀刻社区的重叠。

相当一些贡献啤酒将与来自OIPT人使用我们的系统,劳伦斯伯克利国家实验室,你/ e,格拉斯哥大学和喷气推进实验室。有趣的是这些得到广泛的系统(包括啤酒和ALD),同时包含等离子体和热啤酒,显示各向异性和各向同性腐蚀。啤酒已经成为一个广泛的领域。迈克·库克博士在他的教程将讨论周日啤酒的影响过程的工具设计和提到的其他谈判将在周一和周二。

另一个话题,我相信我们可以ALD area-selective标签作为一个趋势。Adrie Mackus从你/ e将邀请讲实现area-selective ALD使用先进的周期。我在这些先进的循环中最引人注目的是血浆ALD可以用于area-selective ALD而且它是一个例子,结合沉积和蚀刻带来了新的可能性。为了获得更多的信息,看一下我们之前的博客”区域选择性退化

另一个技术OIPT率先获得牵引(虽然我可能太接近这个叫它)是应用在血浆ALD衬底偏压。我数五个使用我们的贡献FlexAL系统从低离子能量高离子能量、氧化物、氮化物、碳化物。我很想看到衬底偏压可以提供材料特性我们一直未能实现以其他形式的退化。

还2 d的材料我们之前将突出显示。我们介绍了FlexAL2D去年的配置。4月的一篇论文在金属氧化物半导体₂沉积发表使用FlexAL2D在埃因霍温,在这个会议上沙Balasubramanyam将WS的控制₂在血浆ALD材料特性。好,看看2 d材料增长ALD和肾上腺白质退化症患者一般硫化加速。

除了成就新的流程和改进材料性能我仍然珍惜纯科学发展。我的博士生Karsten艺术将保形性研究调查横向高纵横比的结构。有趣的个人而言,8年前我去了ALD会议在韩国作为一个博士生,保形性研究,所以好看到追求理解保形性是活蹦乱跳的。

所以对于那些,在会议上见到你,注意,如果有任何问题在会议上ALD啤酒或只是想说你好,请找我或我的一个同事在我们展位或任何地方。下面的列表的贡献,据我所知使用我们的系统(可能有多个):

啤酒:

• 啤酒教程啤酒对过程的影响工具设计——一个教程迈克·库克,OIPT
• ALE2-MoA13原子层腐蚀各向同性三维纳米结构的氧化锌,用乙酰丙酮和O₂等离子体阿尔弗雷多Mameli,涂/ e
• ALE2-MoA15优化原子层蚀刻过程制造的双重障碍GaN-based电源设备使用现场钻光谱表面分析徐李,格拉斯哥大学
• ALE1-TuM1Fluorocarbon-based原子层二氧化硅在传统等离子体系统的腐蚀斯特凡诺Dallorto,劳伦斯伯克利国家实验室
• ALE1-TuM8通过二次修改热HF-based ALE方法与碱性化合物的相互作用约翰轩尼诗,喷气推进实验室

“肾上腺脑白质退化症”:

• AF2-MoA17热等离子体增强的原子层沉积₂O₃和高频振荡器₂利用原位俄歇电子能谱学电影研究海萍周,格拉斯哥大学
• 邀请:AS-TuM7先进的Area-selective原子层沉积周期通过Adrie Mackus涂/ e
• AF2-TuA15肾上腺白质退化症患者调查机制限制了保形性热,Plasma-assisted横向高纵横比的结构卡斯滕艺术,你/ e
• NS + ALE-TuA16控制纳米WS的材料特性₂在血浆ALD提高电化学性能沙Balasubramanyam,涂/ e
• AF1-WeM1角色PEALD中低能量离子的过程通过杂褐锰矿Bonvalot CEA-Leti
• AF1-WeM2高能离子在血浆ALD和他们的角色在裁剪材料属性Tahsin ",你/ e
• AF1-WeM7裁剪碳化钼属性通过等离子体和离子能量控制在等离子体增强的退化Eldad Grady,涂/ e
• AA3 + AF + EM-WeM7衬底偏压的影响在Plasma-enhanced原子层沉积的介质击穿₂O₃薄膜Soo汉族的Hyun,斯坦福大学
• AF2-WeM12肾上腺白质退化症患者的高低温Plasma-Enhanced导电氮化铌薄膜与射频衬底偏压亦舒,OIPT

的更多信息bob平台下载手机版牛津仪器等离子体技术应用访问我们的页面bob综合app官网登录通过我们的电子邮件或写信给我们Plasma-experts@oxinst.com。

作者:伤害努博士