ALD /啤酒2018

最近我写了一篇博客文章中期待着ALD会议(看到前面的博客),现在我将简要地介绍一些事情回想起来。

首先,我能说它是一个伟大的会议上,优秀的谈判,伟大的讨论和一个破纪录的出席人数超过1100。这是进一步增强了伟大的韩国食物,这是一个额外的好处的退化和啤酒项目委员会的一部分。缺点有许多伟大的谈判在很短的时间内,你注定要错过很多。我关注的是啤酒,血浆ALD area-selective ALD和有很多讨论所有这些。

一些预计总体趋势是明显的。越来越多的应用程序可以使用“肾上腺脑白质退化症”,但对CMObob综合app官网登录S处理仍然是一个关键的主题。渴望更多的吞吐量,提出了空间“肾上腺脑白质退化症”的方法。除了这些预期的趋势,真正打动我的是,你可以注意到腐蚀和沉积社区越来越紧密。将两者结合起来的一个原因是提高腐蚀过程的选择性;另一个原因是让ALD更多的区域选择性。例子提出了改善蚀刻在会谈由科罗拉多矿业学院的阿加沃苏米特和山Kihara给从东京电子ALD-like前体与蚀刻步骤,用于周期将面具的减少腐蚀和腐蚀特性的轮胎。的一个例子使ALD更提出了区域选择性的克利斯朵夫法兰LTM-UGA格勒诺布尔,他显示的结果从FlexAL精细控制的射频衬底偏置。使用一个基于“增大化现实”技术的等离子体能够去除助教₂O₅沉积在平面表面,只有得到助教₂O₅经济增长结构的侧壁。除了使用这个相对强劲的基于“增大化现实”技术的等离子体还显示他可能腐蚀助教₂O₅使用温和的5 W的偏见和做等离子体使用氟化学啤酒。

热啤酒成熟和有许多化学反应。几个会谈是在已知TMA / HF化学约翰轩尼诗的喷气推进实验室表明腐蚀可以增强通过KBr室。没有完全解释说这是如何工作的,但提出了一些假设。史蒂文·乔治集团展示了离开了ALE清除步骤循环实际上仍然允许相对控制腐蚀,甚至有一些重叠的TMA和高频剂量很好。我可以想象有一些机会更好地理解热啤酒的动力学和反应机制。进一步的谈判表明,除了高频也其他卤化物包含物种允许热啤酒。WF₆已被证明,但也水控制法吗₆和NbF₅可以使用,每个都有不同的材料选择性的承诺。

很有一些谈判血浆ALD使用偏压作为我提到的其他博客。不是很多惊喜给我因为我参与的一些工作,但有趣的看到来自斯坦福大学的研究人员看到改善电气性能₂O₃通过使用相对较小的偏压时血浆ALD 20-40V偏见在等离子体接触的步骤。更高的偏置电压恶化材料的属性被观察到。这表明一个好偏压控制优势,此外它表明控制离子能量和离子通量通过改变ICP等离子体功率和压力也会对这些属性在一定程度上产生影响。暗示SiO几个会谈₂然后艾尔血浆ALD实际上是容易₂O₃血浆ALD的保形性。埃因霍温大学我们有迹象但从未彻底调查。我期待更多的来。

一般的演讲和讨论是伟大的精神食粮和高兴看到人们如何巧妙地结合方法和利用我们的工具提供的参数空间。我不知道事情将如何进一步发展,但我相信在原子尺度很重要。

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作者:伤害努博士