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石墨烯和二维材料器件的解决方案

拉维·孙达拉姆博士

探索石墨烯和二维材料器件的解决方案

自揭示石墨烯迷人特性的开创性实验以来,已经过去了近15年。它最初是基础物理研究的游乐场,现在已经发展成为一股健康的开发活动浪潮,以利用这类迷人的原子厚度材料的最高特性。

特别是在集成光子学、发光器件和bob综合app官网登录新型通道材料方面的应用,比摩尔技术更有价值。

基于2d设备的关键技术

最近,我们组织了一次网络研讨会重点介绍了推动石墨烯基(和二维材料)设备进入下一技术准备阶段所需的一些关键技术。

为了解决在这项技术上工作的社区面临的挑战,我们与Raith Gmbh是一家das-Nano S.L。本次活动的目的是提供一个解决方案的概述,不仅限于牛津仪器等离子技术在原子层生长,蚀刻和介电沉积方面的专业知识,而且还强调了光刻和无损电子质量表征这两个其他关键过程中的挑战bob平台下载手机版和解决方案。

二维材料器件制造网络研讨会

石墨烯加工解决方案

我们开始了网络研讨会,介绍了石墨烯器件处理解决方案的最新进展。重点是在石墨烯和其他二维材料(如MoS)的晶圆级集成工艺方面取得的出色进展2在这些惰性表面上沉积高质量介电材料的原子层和二维材料的原子层蚀刻。

电子束光刻解决方案

Raith Gmbh的Frank Nouvertne博士是电子束光刻解决方案的知名领导者,他介绍了制备石墨烯器件的一些挑战和解决方案。特别是,新的光学成像模块可以最大限度地减少石墨烯污染,这在使用电子束定位和成像时可能是一个问题,并且易于使用,可以在进行多层光刻时有效地重新访问感兴趣的区域,这令人印象深刻。

太赫兹时域光谱学

最后,来自das-Nano S.L.的Israel Arnedo博士介绍并强调了一项奇妙的新技术,该技术可以在反射模式下快速、非破坏性地使用太赫兹时域光谱来确定石墨烯和其他薄膜的电学特性。das-Nano是一家技术公司,为航空航天、汽车、风能和海军等许多行业提供最先进的解决方案。很高兴了解到这项技术的强大功能,即使是300mm晶圆上的单次扫描也可以提供电导率/片电阻图,漂移迁移率,载流子密度等。

如果你错过了所有这些行动,并渴望了解这些技术的细节,好消息是,我们已经创建了一个按需链接所有这些都是在您方便的时候查看的!我们鼓励您利用这项服务,并与我们联系您的问题,建议改进,甚至如果你想讨论任何事情,我们已经详细介绍。期待您的回复!

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