制造SIC设备需要有关等离子体处理技术的专业知识,以最大程度地提高设备性能,请观看该网络研讨会以发现有关这些技术的更多信息。
在本网络研讨会中,您将学习:
SIC的材料特性,例如高带隙,高热导率,高分解场,提供的潜在性能远远超过了功率开关/转换应用领域中的SI。这些属性使SIC在电子行业中对于电动汽车,火车和航空航天的电力设备非常有吸引力。
bob平台下载手机版牛津仪器对如何通过其工艺解决方案制造最优化的设备有深刻的了解。凭借丰富的蚀刻材料经验,我们正在使SIC制造商能够获得光滑的侧壁,出色的表面质量以及保持竞争优势所需的蚀刻效果。
下载小册子Plasmapro 100 Polaris专为蚀刻坚硬的材料(例如SIC,GAN和SAPPHIRE)所需的严酷化学设计而设计,可在最高直径200mm的晶状体上均匀地提供快速的蚀刻速率。
SIC孔蚀刻SEM图像
SIC孔蚀刻特写SEM图像
光滑而垂直的SIC特征蚀刻