钻石像碳与SP2相比,是具有高组合物的无定形形式的碳。这使其一些类似于钻石的特性,例如硬度,使其非常有用的抗磨涂层。它的高击穿电压使其适用于Smoe形式的功率装置。它是使用a沉积的反应离子腐蚀(RIE)制程或蚀刻在同一工具上用不同的工艺进行。