量子技术的前沿过程介绍。我们将向您介绍我们的最新发展,并介绍我们客户的一些参考研究工作,包括3步优化的金刚石蚀刻工艺,具有高Tc的超导NbN等离子ALD的TSV涂层,Si的高温PECVD3.N4用于低损耗光学元件等。
了解原子层沉积的基础知识,原子层蚀刻和如何以可扩展的方式生长二维材料。了解如何控制等离子体和反应堆条件允许改进和定制的材料性能。将这些技术结合和聚类,可以充分利用原子级处理的优势。我们还将为广泛的氧化物、氮化物和硫化物展示这方面的例子。
Pauline是牛津仪器公司的离子束和ALD专家,经验丰富的薄膜加工专家,擅长制造激光和红bob平台下载手机版外传感器等光电器件的离子束技术。
哈姆·诺普斯博士是牛津仪器等离子技术的原子尺度段专家,并在埃因霍温理工大学担任兼职助理教授。bob平台下载手机版他目前的工作包括(基于等离子体的)薄膜合成、高级诊断以及理解和开发等离子体ALD。
他的主要目标是为牛津仪器及其客户改进和推进原子尺度的过程和应用。bob平台下载手机版bob综合app官网登录他最近在等离子体ALD中应用射频衬底偏置和通过等离子体ALD生长2D-MoS2方面的研究得到了该领域的广泛认可。