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介绍量子技术的尖端过程。我们将向您介绍我们的最新发展，并介绍一些客户的参考研究工作，包括3步优化的金刚石蚀刻工艺，超导NbN等离子体ALD的TSV涂层，高温PECVD的Si3.N4用于低损耗光学元件，等等。
深入了解原子层沉积、原子层蚀刻的基础知识，以及如何以可扩展的方式生长2D材料。了解如何控制等离子体和反应器条件允许改进和定制的材料性能。组合和集群这些技术可以充分利用原子规模的处理。我们还将展示各种氧化物、氮化物和硫化物的例子。
Pauline是牛津仪器公司的离子束和ALD专家，经验丰富的薄膜加工专家，专门从事离子束技bob平台下载手机版术制造光电子设备，如激光和红外传感器。
Harm Knoops博士是牛津仪器等离子体技术的原子级专家，并在埃因霍温理工大学担任兼职助理教授职位。bob平台下载手机版他目前的工作包括(基于等离子体的)薄膜合成，先进的诊断和理解和开发等离子体ALD。
他的主要目标是为牛津仪器及其客户改进和推进原子尺度过程和应用。bob平台下载手机版bob综合app官网登录他最近参与的等离子体ALD中应用射频衬底偏压和等离子体ALD生长2D-MoS2的研究受到了业界的好评。
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