领先的下一代应用量子技术解决方案bob综合app官网登录

我们为超导量子比特和量子电路提供了几种解决方案:

• NbN、TiN等超导氮化物的ALD
• 隧道屏障的ALD，如铝₂O_3., AlN
• 超导金属和氮化物的等离子体刻蚀
• 用于三维集成的穿透硅孔(TSV)的深层硅蚀刻

在我们的解决方案和专业知识的背后，是多年来对超导量子电路组件制造的沉积和蚀刻的研究。

我们为量子光子集成电路提供三个关键应用bob综合app官网登录:

• snspd超导氮化物原子层沉积研究
• 高温，SiH₄和NH_3.Si的自由PE (ICP) CVD_3.N₄用于低损耗波导
• 用于光学元件(如光栅、波导)的等离子体蚀刻

启用这些解决方案是FlexAL而且PlasmaPro 100沉积和蚀刻系统，能够生产小到200毫米的晶片，可聚束以提高产量并避免真空破裂。我们的PlasmaPro 100该平台可用于量子器件的各种材料的高精度沉积和蚀刻。

我们为当今量子技术研发和设备开发中的各种方法提供各种设备制造挑战的关键加工解决方案。

bob平台下载手机版牛津仪器在提供最先进的解决方案方面有着悠久的历史，这一快速发展的应用程序是量子技术超越器件制造解决方案的关键推动者。bob综合app官网登录