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世界领先的vcsel制造解决方案

从3D传感的高功率转换效率到数据通信的高稳定性,我们使像你们这样的VCSEL制造商能够为设备生产尽可能好的激光器


注:简化了工艺流程。

可靠地制造VCSELs

在牛津bob平台下载手机版仪器等离子技术公司,我们最大的成功之一是VCSELs的台面制造。我们已经多次演示了VCSEL台面的高精度制造,从掩蔽到在150mm晶片上蚀刻台面,设备通过了加速寿命测试。

台地蚀刻均匀光滑,基脚特低。该过程由全自动端点检测辅助,可对台面高度进行精细控制。

我们的VCSEL解决方案支持最高产量的优秀光电性能。利用我们在等离子体处理方面的专业知识,我们使VCSEL制造商能够生产高质量的高数量激光器。我们目前的解决方案已经在150毫米的基材上得到了证明,并能够处理200毫米的基材。

我们的VCSEL的解决方案

  • 无选择性的砷化镓/ AlGaAs蚀刻与光滑的侧壁和没有缺口在个别层
  • PECVDICP刻蚀RIE用于屏蔽、钝化、台面或隔离
  • 通过超低基脚工艺和全自动端点控制实现高度精确的台面蚀刻深度

我们的VCSEL解决方案实现了最佳的器件性能的优异一致性。

等离子体处理解决方案

先进的等离子体处理解决方案可以通过我们的PlasmaPro 100平台,该平台已配置为高容量制造高达200mm的晶圆尺寸。

我们的化学汽相淀积ICP / RIE解决方案包括各种步骤,如屏蔽,钝化,台面或隔离。bob平台下载手机版牛津仪器公司长期以来一直与化合物半导体公司紧密合作,以提供最大的器件性能和制造效率。

从3D传感的高功率转换效率到数据通信的高稳定性,我们相应地支持制造过程以实现目标性能。

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