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注:简化工艺流程。
在牛津bob平台下载手机版仪器等离子技术公司，我们最大的成功之一是VCSELs的台面制造。我们多次演示了VCSEL台面的高精度制造，从掩蔽到在150mm晶圆上蚀刻台面，设备通过了加速寿命测试。
平顶山采用超低底均匀光滑地蚀刻。该过程由全自动端点检测辅助，可以对台面高度进行精细控制。
我们的VCSEL解决方案在最大产量下支持优异的光电性能。利用我们在等离子体加工方面的强大专业知识，我们使VCSEL制造商能够生产高质量的大批量激光器。我们目前的解决方案已经在150mm的基材上得到了验证，并且能够处理200mm的基材。
我们的VCSEL解决方案为最大的设备性能实现了优异的均匀性。
先进的等离子体加工解决方案可以通过我们的PlasmaPro 100平台，已配置为大批量生产高达200mm晶圆尺寸。
我们的化学汽相淀积而且ICP / RIE解决方案包括各种步骤，如掩蔽，钝化，台面或隔离。bob平台下载手机版牛津仪器与化合物半导体行业有着悠久的合作历史，以提供最大的器件性能和制造效率。
从3D传感的高功率转换效率到数据通信的高稳定性，我们相应地支持制造过程以提供目标性能。
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