将基于硅的微电子学与微加工技术、MEMS技术和基于微系统的设备相结合,可能会以最积极的方式影响我们的生活和生活方式。数以百万计的MEMS设备现在嵌入到我们日常使用的产品中。
牛津仪器的多功能和高性能系统采用了深硅蚀刻、低温蚀刻、博世和ALD等技术,旨在促进MEMS革命。bob平台下载手机版