纳米尺度等离子体蚀刻:录制讲座

40多年来，等离子蚀刻在半导体和其他行业的器件制造中一直是至关重要的。本报告将重点介绍等离子蚀刻(一种减法方法)在纳米尺度时代的扩展，以及它在纳米技术中继续发挥的关键作用。

简要介绍了纳米技术和等离子体蚀刻原理，然后详细讨论了纳米尺度蚀刻的困难和如何克服这些挑战。接下来是纳米尺度硅蚀刻的例子，包括一些扩展能力的技巧，然后是来自牛津仪器近期经验的金属和其他材料蚀刻的进一步例子。bob平台下载手机版