牛津仪器集团的一部分bob平台下载手机版
扩大
网络研讨会
石墨烯和二维材料晶圆级器件制造和电特性研究

2019年8月1日下午3点(英国)


关于网络研讨会

本次网络研讨会概述了将推动石墨烯和基于二维材料的技术发展到下一个技术准备阶段的晶圆级器件制造和表征技术。

石墨烯/2D器件开发工作将涵盖三个方面:

  • 材料制造
  • 光刻技术
  • 无损电特性

主办由牛津仪器等离子bob平台下载手机版技术与Raith Gmbh是一家而且das-Nano缟玛瑙

观察记录

议程

石墨烯及二维材料晶圆级器件制造技术
拉维·桑达拉姆博士,牛津仪器公司bob平台下载手机版

气相沉积技术已经成为所有基于石墨烯和其他2D材料的器件制造的主力。为了成功地扩大到目前为止演示的原型应用,需要开发这些材料的大面积沉积技术和工艺。bob综合app官网登录

在本次演讲中,我将首先概述牛津仪器实验室的晶片制造技术和工艺,通过CVD和ALD法生长石墨烯、其他层状材料和异质结构,然后介绍我们在器件制造工艺技术方面的进展,如ALD法的介电沉积和RIE和ALbob平台下载手机版E法的器件图形蚀刻。

EBL制备石墨烯基器件的晶圆尺度纳米化
Frank Nouvertne博士,Raith Gmbh

电子束光刻(EBL)系统已被证明是灵活的纳米制造工具,使纳米技术的应用范围广泛。bob综合app官网登录在当今以纳米研发为基础的各学科实验室中,它们被视为“必备”。这些EBL技术通常提供低于10nm特征尺寸的纳米图案分辨率。

本文将介绍电子束光刻技术的基本原理和纳米器件制造的相关后续关键工艺技术步骤。重点将给出许多不同的应用,展示基础石墨烯研究和先进(晶圆级)石墨烯纳米器件的应用。bob综合app官网登录

基于太赫兹的晶圆尺度非接触迁移率和电导率测量
Israel Arnedo博士,das-Nano S.L.

在这次演讲中,我将解释如何结合太赫兹波的特殊特征,引入一种新的方式来观察以前看不到的东西。该技术已应用于ONYX,这是市场上第一个系统,旨在提供石墨烯、薄膜和其他二维材料的全区域无损表征,覆盖宏观和纳米尺度工具之间的差距。

详细介绍了它的工作原理、主要特点和可能的应用。bob综合app官网登录大型行业参与者和研究机构已经在使用我们的太赫兹设备,如Onyx,并在其生产过程和质量控制中实现它。

会见主持人

拉维·桑达拉姆博士

Ravi Sundaram博士说
bob平台下载手机版牛津仪器等离子体技术

Ravi曾参与多个机构的材料研究,如瑞士EPFL、德国斯图加特马克斯普朗克研究所、纽约IBM T.J Watson研究实验室和剑桥大学,在那里他从事基于一维和二维材料研究的多个方面,从合成、基础科学到传感器、光电子和电子学的原型应用。bob综合app官网登录

他加入Oxford bob平台下载手机版Instruments,领导和协调2D材料产品的研发工作。目前,他负责寻找和发展新兴技术市场的战略,如二维材料,生物医学设备,集成光子学,量子技术等。

联系拉维LinkedIn

Dr Frank Nouvertne - Raith Gmbh

弗兰克博士Nouvertné
Raith Gmbh是一家

Frank Nouvertné 1998年在亚琛工业大学获得物理学博士学位,随后做了一年的博士后。从那时起,他在Raith公司工作,先是担任国际销售,后来担任产品经理,目前担任高级产品市场经理电子束光刻(EBL)。

他为学术市场管理整个EBL系统投资组合,在基础和应用纳米研究的各种应用方面积累了丰富的经验,并通过与大学和其他研究机构合作领导多个(国家和欧洲)研究项目补充了他的专业知识。bob综合app官网登录

与Frank联系LinkedIn

Israel Arnedo - das-Nano博士

伊斯莱尔·阿内多博士
das-Nano S.L

Israel Arnedo目前是das-Nano S.L公司太赫兹技术总监,纳瓦拉公立大学电气、电子和通信工程系副教授。自2018年起,他担任UPNA工程学院副院长。他的研究兴趣包括微波、毫米波和太赫兹场周期结构器件、耦合模理论、反向散射合成、材料表征及其在超宽带(UWB)系统、空间和卫星技术、生物医学工程研究和工业产品中的应用。bob综合app官网登录

他在这些领域发表了超过75篇论文,并获得了2项国际专利的成功授权。

与以色列联络LinkedIn

观察记录

相关内容