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网络研讨会
PTIQ软件

2020年7月27日


关于网络研讨会

PTIQ是针对PlasmaPro和Atomfab加工设备的最新智能软件解决方案。

  • 异常灵敏的系统控制
  • 优化系统和过程性能
  • 不同级别的软件以满足您的需求
  • 全新直观的布局设计

在本次网络研讨会中,我们将向您展示PTIQ的主要功能,包括显示选项;维护;配方创造;以及数据分析工具。

观察记录

常见问题

什么时候有空?

PTIQ现在有货。

自2020年2月以来,系统已经报价,正在建造,并与PTIQ离开工厂。目前,我们大约75%的产品线使用PTIQ,这意味着PlasmaPro 100、80和800目前正在为新软件设置。我们的新ATOMFAB系统也包括PTIQ。

在今年年底之前,它将在我们的Ionfab、Estrelas和Polaris系统上提供。

我们需要哪些硬件升级才能升级到PTIQ?

这将逐个情况进行评估,但对于PTIQ在现有硬件上的工作,我们需要一些最低规格:

  • 1080 p的宽屏显示器
  • 相对较新的PLC(处理室内部计算模块:一个X20品种,特别是一个具有更大内存的1584模块。这是过去两年内安装的大多数系统的典型情况)。
  • 一些次要的辅助模块(如Profibus模块)
  • 至少8GB的计算机内存

如果我有蚀刻系统和沉积系统,会是一样的吗软件和工作方式一样吗?

是的。新软件的一个重要目标是提供一致的外观和感觉,并找到操作所有系统所需的共同操作。

虽然会有一些显著的差异,但它们与所涉及的具体技术有关。这意味着,无论模块存在于相同的集群配置中,还是作为两个单独的单个模块工具并排存在,软件都将是完全相同的。

这是否适用于集群系统?

我们支持我们的三个系列产品PTIQ:开放负载,单模块和输出集群系统。这三种类型的系统都具有相同的外观和感觉,并以类似的方式操作。

PTIQ触摸屏兼容吗?

我们设计的软件将通过触摸屏来控制,确保24英寸的触摸屏至少有1平方厘米的活动区域。虽然SEMI E95标准已不再有效,但它仍然有助于半导体资本设备的触摸屏操作界面。

PTIQ多显示器兼容吗?

这是我们的短期路线图。我们从一开始就在双显示器支持的基础上构建了这个软件,但这还不能在软件中激活,因为这个功能需要更多的工作才能完成。

使用现有的PC4500软件,LogViewer日志文件可以在另一台PC上查看,如果手动转移到另一台PC。如果远程用户能够更容易地访问和分析数据文件,这将非常有用。新软件将提供什么?

我们将很快打包Datalog查看器作为一个独立的产品,以便它可以安装在单独的PC上。我们希望使文件传输过程更容易。

一个参数(例如RF)可以通过一个循环从开始值和结束值分级吗?

这个功能正在开发的过程中,因为我们寻求支持更先进的深硅蚀刻工艺。我们的实现将在发布时对所有流程模块可用,而不仅仅是Estrelas工具。

你有这个软件的模拟器,我们可以安装在我们的个人电脑上进行测试或培训?

我们有一个模拟器/模拟器可以用于这一目的。例如,它可以很好地模拟硬件,包括一些简单的算法来模拟压力控制中涉及的物理。

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