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该网络研讨会提供了晶圆级设备制造和表征技术的概述，它将推动基于石墨烯和2D材料的技术的开发到下一个技术准备阶段。将涵盖石墨烯/ 2D器件开发工作的三个方面;材料制造，光刻和非破坏性电学特性。
由牛津仪器等离子技术bob平台下载手机版与Raith Gmbh和das-Nano Onyx合作主办。
气相沉积技术已经成为所有基于石墨烯和其他二维材料的设备制造的主力。为了成功地扩大到目前为止已证明的原型应用，需要开发大面积沉积这些材料的技术和工艺。bob综合app官网登录在本次演讲中，我将首先概述牛津仪器公司在石墨烯生长方面开发的fab技术和工艺，bob平台下载手机版随后，我们开发了器件制造工艺的技术，如ALD的介质沉积和RIE和ALE的器件图案蚀刻。
电子束光刻(EBL)系统已被证明是一种灵活的纳米制造工具，可以实现广泛的纳米技术应用。bob综合app官网登录在当今各种学科的纳米研发实验室中，他们被视为“必备人才”。这些EBL技术通常提供不到10nm特征尺寸的纳米图案分辨率。介绍了电子束光刻技术的基本原理和后续纳米器件制造的基本工艺技术步骤。重点将放在许多不同的应用上，展示基础石墨烯研究和先进的(晶圆级)石墨烯纳米器件应用。bob综合app官网登录
在这次演讲中，我将解释如何结合太赫兹波的特殊特征来引入一种新的方式来观察以前不可见的东西。ONYX是市场上第一个旨在为石墨烯、薄膜和其他二维材料提供全区域无损表征的系统，覆盖宏观和纳米尺度工具之间的空隙。详细介绍其工作原理、主要特点和可能的应用。bob综合app官网登录大的行业参与者和研究机构已经在使用我们基于太赫兹的设备，如Onyx，并将其应用到他们的制造过程和质量控制中。
Ravi has been involved in materials research in several institutions such as EPFL, Switzerland, Max Planck Institute Stuttgart, Germany, IBM T.J Watson Research Labs, NY and Cambridge University where he worked on several aspects of 1D and 2D materials-based research from synthesis, fundamental science to prototype applications in sensors, optoelectronics and electronics.
他加入牛津仪器公司，bob平台下载手机版领导和协调2D材料产品的研发工作。目前，他负责为新兴技术市场(如2d材料、生物医学设备、集成光子学、量子技术等)制定战略。
弗兰克于1998年在奥纳森技术大学获得了物理学博士，随后作为一年的博士后工作。从那时起，他正在为莱特工作，首先在国际销售中，后来作为产品经理，目前是高级产品市场经理电子束光刻（EBL）。管理整个EBL系统投资组合的学术市场，他已经收集了基本和应用纳米研究中各种应用的相当大经验，并通过领导了与大学和其他研究机构的几个（国家和欧洲）研究项目进行了融合。bob综合app官网登录
Israel目前是das-Nano S.L公司的太赫兹技术总监，也是纳瓦拉公立大学电气、电子和通信工程系的副教授。自2018年以来，他一直担任UPNA工程学院的副院长。
他的微波，毫米波和太赫兹领域的研究兴趣包括周期性结构装置，耦合模式理论，逆散射合成，材料表征及其在超宽带（UWB）系统，空间和卫星技术，生物医学工程中的应用bob综合app官网登录研究和工业产品。他在这些领域发表了超过75篇论文，并拥有2个国际专利已成功许可。
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