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白皮书
大功率VCSEL阵列的干法刻蚀

VCSEL技术的bob综合app官网登录3D感测中的某些应用需要比数据通信应用更高的功率操作。结果,根据所需的组合输出功率,存在产生高功率VCSEL阵列的高功率VCSEL阵列。

然而,在生产高功率阵列时,成本控制和vcsel之间的热串扰等多重挑战也随之而来。此外,vcsel的制造过程也面临挑战。随着阵列密度的增加,更好的工艺控制对实现性能和成本变得至关重要。

通过结合强大的工艺专业知识和对设备的深入理解,牛津仪器等离子技术开发了先进的等离子处理解决方案,以实现当前和未来的VCSEL设计。bob平台下载手机版

在本白皮书中,您可以了解:

  • 如何通过150mm晶圆尺寸控制成本
  • 如何提高高功率VCSEL中低发射极间距的工艺效果
  • 站立对设备性能的影响
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