白皮书
INP激光二极管设备生产：定义MESA

INP的性质结合了宽带隙和高电子迁移率，使其成为光电设备制造的理想半导体。关键应用程序是通信，随着数据流量的增加，这正在迅速扩展。

INP实现了可以在高频上运行的组件的制造，从而允许更高的数据量。特别是，它为激光二极管制造提供了令人信服的优势，该制造以有竞争力的价格提供出色的功能。当设计和制造优化时，INP激光器在宽温度范围内提供了高光谱纯度和光学功率。此外，1100 - 2000 nm的可实现的波长范围对于光纤通信是最佳的。因此，为INP激光器的生产建立具有成本效益的处理策略，直接支持通信的进步，以支持对数据传输的不断增长的需求。

在这份白皮书中，我们研究了血浆加工技术在INP激光二极管制造中的作用，该制造的重点是INP MESA的电感耦合血浆反应离子蚀刻（ICP-RIE）的相对优点。主要目的是突出不同过程的相关特征，并显示如何结合使用它们，以有效地制造高性能激光器。

作者

马克·迪尼恩（Mark Dineen）博士
牛津仪器技术经理等离子体技术bob平台下载手机版