白皮书
基于GAAS的VCSELS中的矿台的高产制造

当前对光学互连，激光雷达技术或面部识别的需求正在推动VCSEL行业的增长速度。VCSEL制造公司正在迅速扩大整个世界，VCSEL制造过程必须达到更高的产量和质量。bob综合app官网登录诸如3D传感之类的应用程序专注于使用VCSEL的阵列的最大功率转换，以实现更高的组合输出功率。在阵列中，从激光器到激光器必须均匀，阈值电流和差量效率必须均匀。这需要很好地控制外延，但也很好地控制了台面的形状。随着对密度阵列的需求增加，出现了均匀性，线宽度和纵横比的挑战。
凭借强大的流程专业知识和广泛的设备理解，牛津仪器等离子技术开发了先进的等离子体处理解决方案，以实现VCSEL市场所需的设备性能和收益率。bob平台下载手机版

在这份白皮书中，我们专注于如何最好地控制膜的几何形状，以达到150mm的晶圆尺寸。我们会回顾实现锥形或垂直轮廓的关键要求，并精确控制台面深度。