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非晶硅沉积

非晶硅(a- si)作为半导体是用于光伏技术的最广泛的材料。太阳能电池。它也用于液晶显示器(lcd)中的薄膜晶体管。a-Si可以用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)而且电感耦合等离子体CVD (ICP-CVD)

非晶硅

薄膜沉积均匀,应力低。PH值可能掺杂3.和B2H6

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薄膜沉积均匀,应力低。PH值可能掺杂3.和B2H6

  • 单片尺寸:可达200毫米
  • 批处理大小:可达9x2", 4x3"
  • 单片尺寸:可达300mm
  • 批处理大小:可达43x2”,19x3”,10x100mm, 7x120mm, 4x150mm, 2x200mm
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