非晶硅(a- si)作为半导体是用于光伏技术的最广泛的材料。太阳能电池。它也用于液晶显示器(lcd)中的薄膜晶体管。a-Si可以用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)而且电感耦合等离子体CVD (ICP-CVD)
薄膜沉积均匀,应力低。PH值可能掺杂3.和B2H6