牛津仪器小组的一部分bob平台下载手机版
扩张

(AG)表现出任何金属的最高电导率,导热率和反射率。它的电气性能使其非常适合电触点,并且用于许多半导体设备。

可以用溅射蚀刻离子束蚀刻(ibe)或者反应性离子蚀刻(RIE)也可以使用电感耦合等离子体(ICP)给出光滑的垂直蚀刻曲线。它可以使用离子束沉积(IBD)

  • 晶圆尺寸:最多200mm
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  • 晶圆尺寸:最多200mm
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