牛津乐器集团的一部分bob平台下载手机版
扩大

氧化铝

艾尔2O3.或蓝宝石有许多不同的应用。bob综合app官网登录从用于hbled的图案蓝宝石衬底(PSS), GaN HEMTs上的栅极介质,耐磨涂层和阻挡层,它的硬度和电气特性使其成为首选材料。可存放使用原子层沉积(ALD)离子束沉积(IBD).它可以蚀刻使用电感耦合等离子体活性离子刻蚀

可能是干蚀刻使用电感耦合等离子体过程的技术。高等离子体密度对硬质材料具有较高的腐蚀速率。图案蓝宝石衬底(PSS)使用工艺专家证明良好的热控制,并实现最佳的特征高度和出色的CD控制。

图案蓝宝石衬底(PSS)蚀刻

图案蓝宝石衬底(PSS)使用工艺专家证明良好的热控制,并实现最佳的特征高度和出色的CD控制。

在ICP 请求更多的信息

倪蒙面艾尔2O3.特性。

图案蓝宝石衬底(PSS)蚀刻

优异的化学计量学与竞争的沉积速率。可用于预清洁的蚀刻源。

在炎症性肠病 请求更多的信息

腐蚀表面光滑,腐蚀深度控制良好。

更多关于RIE 请求更多的信息

优良的材料质量和低损害,即使在低沉积温度。

更多关于“肾上腺脑白质退化症” 请求更多的信息

80 nm远端等离子体ALD Al的SEM图像2O3.薄膜在2.5 mm宽沟槽中,纵横比为10,沉积在FlexAL反应器中,由埃因霍温理工大学和NXP公司提供。


相关产品