氮化铝

氮化铝AlN广泛应用于手机技术中，它是一种被称为表面声波传感器(saw)的滤波器的重要组成部分。它的材料比例使它非常适合这一目的，同时它也可以加入到一些GaN基光电器件中。它可以蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)而且反应离子蚀刻(RIE)．