类金刚石(DLC)

类碳钻石是一种非晶态碳，与sp2键相比，sp3键的组成更高。这给了它一些类似于金刚石的特性，如硬度，使它非常有用的抗磨涂层。击穿电压高，适用于各种功率器件。它被沉积使用活性离子蚀刻(RIE)制版或蚀刻在同一工具上用不同的工艺。