氧化钛锡（ITO）

氧化钛锡（ITO）在许多应用中用作透明的导电氧化物（bob综合app官网登录TCO）。设备示例是：太阳能电池，触摸面板接触和LCD屏幕的电极。它可能会使用反应性离子蚀刻（RIE）或者电感耦合等离子体蚀刻（ICP）可以使用离子束沉积（IBD）。

晶圆尺寸：最多200mm
- 产品：浆果100

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ITO可以使用离子束沉积（IBD）。一些过程好处包括：

良好的电影组成
光滑的表面和
低电阻率

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晶圆尺寸：最多200mm
- 产品：浆果100

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