聚二甲基硅氧烷(PDMS)属于一组通常称为硅氧烷的聚合物有机硅化合物。PDMS是最广泛使用的基于硅基有机聚合物,并且特别是其不寻常的流变(或流动)性质所熟知的。它可以使用蚀刻电感耦合等离子体(ICP)和反应离子蚀刻(RIE)。