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扩张

聚酰亚胺

聚酰亚胺(PI)是酰亚胺单体的聚合物。PI可能会使用电感耦合等离子体(ICP)蚀刻反应性离子蚀刻(RIE)

聚酰亚胺
  • 晶圆尺寸:最多100mm
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  • 晶圆尺寸:最多100mm
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