甲基丙烯酸

Polymethl丙烯酸甲酯(PMMA)，又称丙烯酸，是一种透明热塑性塑料，常用于电子束光刻的抗蚀罩。

热压是再现微结构的一种简便方法。在真空下，模具被压入加热的热塑性聚合物中。对于随后的金属结构电铸，不可避免地残留在基材和模具之间的聚合物层必须被去除，这可以通过使用等离子处理来实现电感耦合等离子体(ICP)或活性离子蚀刻(RIE)．