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多晶硅(PolySi)，是Si的多晶形式。它纯度高，广泛用于制造光伏(PV)器件。多晶硅可以沉积使用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)．它可以蚀刻使用电感耦合等离子体(ICP)而且反应离子蚀刻(RIE)．
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